半导体设备行业国产替代趋势月度跟踪：6月检测、量测招标量居多 研磨抛光设备国产化中标比例领先

　　核心观点：

    　　6 月合计16 项招标，以燕东、华虹、中芯国际招标为主，招标设备主要包括检测、量测设备等品类。根据采招网的数据，2024 年6 月，统计样本中的晶圆产线合计产生16 项招标。以燕东科技、华虹半导体、中芯国际等产线招标为主。招标设备主要包括检测、量测等品类。2024年1-6 月，统计样本中的晶圆产线合计招标259 项，其中，华虹半导体、积塔半导体、燕东科技的招标量位居前三。整体而言，设备招标以量测、测试机、刻蚀为主。

    　　6 月合计33 项中标，以气液系统、测试机、量测设备居多，国产设备整体中标比例约52%，研磨抛光和气液系统设备的国产中标比例显著。

    　　中标方面，根据采招网的数据，2024 年6 月，统计样本中的晶圆产线上合计中标33 台设备，以气液系统、测试机、量测设备居多；国产设备整体中标比例约52%，其中，研磨抛光和气液系统设备的国产中标比例显著。2024 年1-6 月，统计样本中的晶圆产线合计中标712 台设备，以气液系统、扩散、探针台设备居多；国产设备整体中标比例约31%，其中，去胶、气液系统、检测设备的国产中标比例较高。

    　　1-6 月统计样本中的国内设备厂商共中标41 台设备，以屹唐半导体、上海微电子、北方华创中标量领先。根据采招网的数据，2024 年6 月，中科信中标2 台研磨抛光设备，在对应工艺环节的中标比例为100%。

    　　2024 年1-6 月，统计样本中的国内半导体设备厂商合计中标41 台设备，屹唐半导体、上海微电子、北方华创中标量领先。2024 年1-6 月，统计样本中的国内半导体设备厂商合计中标量在对应工艺环节的中标比例为12%。其中，屹唐半导体的去胶设备、上海微电子的检测设备、北方华创的炉管设备在对应工艺环节的中标比例领先，分别为85%/48%/25%。

    　　投资建议：在本土晶圆产能持续扩张、半导体制造技术迭代升级和国产替代加速突破的趋势下，国内半导体设备市场持续扩容。国产半导体设备厂商依托公司自身的产品竞争力、持续拓展的可服务市场空间和品类扩张能力，有望持续受益于设备市场规模的扩张和国产替代进程的深入，成长速度和空间均十分显著。建议关注在半导体核心工艺环节强势卡位和今年有新品类拓展的公司：北方华创、中微公司*、华海清科、盛美上海*、拓荆科技、中科飞测、万业企业、芯源微、华峰测控*、长川科技*、微导纳米、至纯科技*等标的。（带*标的为与广发机械联合覆盖）

    　　风险提示：市场需求不及预期，研发不及预期，市场开拓不及预期。

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